Prozesskammer, Inline-Beschichtungsanlage und Verfahren zur Behandlung eines Substrats
EP1953259
Art B1
28. April 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1953259
- Aktenzeichen
- EP07101677
- Anmeldetag
- 2. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 28. April 2010
- Erteilung
- 28. April 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/00
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
München, Deutschland
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