Probenhalter, Probenprüfvorrichtung, Probenprüfverfahren und Verfahren zur Herstellung des Probenhalters

EP1953793 Art B1 16. Mai 2012

Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1953793
Aktenzeichen
EP08250238
Anmeldetag
18. Januar 2008
Veröffentlichung
16. Mai 2012
Erteilung
16. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/20H01J37/28B01L3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JEOL LTD.
JEOL Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 JEOL

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.

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