Halbleiterprozesskammer
EP1953802
Art A3
23. Mai 2012
Anmelder: PARKER-HANNIFIN CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1953802
- Aktenzeichen
- EP08250379
- Anmeldetag
- 1. Februar 2008
- Veröffentlichung
- 23. Mai 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PARKER-HANNIFIN CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Parker Hannifin
US-amerikanisches Unternehmen für Antriebs- und Steuerungstechnik mit Schwerpunkt auf Hydraulik, Pneumatik und Dichtungstechnik.
1.020 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Albutt, Anthony John
London, Großbritannien
1.129
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte