Extrem-Ultraviolett-Fotolithografiemaske mit Absorbierenden Hohlräumen
EP1955110
Art B1
14. Mai 2014
Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1955110
- Aktenzeichen
- EP06819692
- Anmeldetag
- 23. November 2006
- Veröffentlichung
- 14. Mai 2014
- Erteilung
- 14. Mai 2014
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Guérin, Michel
Arcueil, Frankreich
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