Euv-Lichtquelle auf Plasmabasis

EP1955362 Art A2 13. August 2008

Anmelder: University of Washington 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1955362
Aktenzeichen
EP06851596
Anmeldetag
17. Oktober 2006
Veröffentlichung
13. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
University of Washington
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 University of Washington

Öffentliche Forschungsuniversität in Seattle, USA, mit umfangreicher Forschung in Medizin, Ingenieurwissenschaften und Informatik. Die Universität wurde 1861 gegründet.

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