Planpositionsdetektionsvorrichtung, Belichtungsvorrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP1956339 Art A1 13. August 2008

Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1956339
Aktenzeichen: EP06823369
Anmeldetag: 14. November 2006
Veröffentlichung: 13. August 2008
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Nikon Corporation
NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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