Vorrichtung zur Beobachtung eine Probe und ein Verfahren zur Bereitstellung einer solchen
EP1956360
Art B2
2. Dezember 2020
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1956360
- Aktenzeichen
- EP06833640
- Anmeldetag
- 29. November 2006
- Veröffentlichung
- 2. Dezember 2020
- Erteilung
- 2. Dezember 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/17G01N21/47G02B21/06G02B21/00G02B21/12G02B21/14// G01N21/88G02B21/36
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Petzold, Silke
Ladenburg, Deutschland
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Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München