Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Bauelemente-Herstellungsverfahren
EP1956431
Art A1
13. August 2008
Anmelder: Nikon Corporation, NIKON CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1956431
- Aktenzeichen
- EP06832647
- Anmeldetag
- 15. November 2006
- Veröffentlichung
- 13. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/027// G03F1/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Nikon Corporation
NIKON CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Kanzlei
Arnold & Siedsma
Den Haag, Niederlande
Arnold & Siedsma wurde 1920 gegründet und liegt im Haager Büro in Laufnähe zum Benelux-Amt für geistiges Eigentum. Mit Standorten in den Niederlanden, Belgien, München und London stützt sie sich auf ein weltweites Agentennetzwerk.
12.048
Patente gesamt
7
Patentanwälte
2
Standorte
Weitere Vertreter
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München