Verfahren und Systeme für einen verbesserten immersionslithographischen Prozess
EP1956432
Art A1
13. August 2008
Anmelder: IMEC, Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum, IMEC vzw, Intel Corporation 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1956432
- Aktenzeichen
- EP07002958
- Anmeldetag
- 12. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 13. August 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G03F7/38G03F7/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Interuniversitair Micro-Elektronica Centrum
IMEC vzw
Intel Corporation - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
2.615 Patente in unserer Datenbank
🇺🇸
Intel
US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.
26.631 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bird, William Edward
Heverlee, Belgien
884
Patente gesamt
31
Fachgebiete
19
Anmelder-Länder
Schwerpunkte