E/a-Systeme, Verfahren und Einrichtungen zur Anschaltung einer Pumpensteuerung
EP1958039
Art B9
7. September 2011
Anmelder: Entegris, Inc., ENTEGRIS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1958039
- Aktenzeichen
- EP06838223
- Anmeldetag
- 20. November 2006
- Veröffentlichung
- 7. September 2011
- Erteilung
- 7. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/04G06F3/00G05D11/00G06F13/38F04B13/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ENTEGRIS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Meier, Christof
Stuttgart, Deutschland
44
Patente gesamt
14
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte