Verfahren zur Trockenchemischen Behandlung von Substraten, sowie dessen Verwendung

EP1958241 Art A2 20. August 2008

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1958241
Aktenzeichen: EP06829345
Anmeldetag: 6. Dezember 2006
Veröffentlichung: 20. August 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/306H01L21/322H01L21/205H01L21/324

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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