Verfahren zur Strukturierung einer Schicht auf einem Substrat

EP1959298 Art B1 16. Juni 2010

Anmelder: Karlsruher Institut für Technologie, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1959298
Aktenzeichen: EP08002496
Anmeldetag: 12. Februar 2008
Veröffentlichung: 16. Juni 2010
Erteilung: 16. Juni 2010
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/00B01L3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Karlsruher Institut für Technologie
Forschungszentrum Karlsruhe GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Karlsruher Institut für Technologie

Deutsche Universität und Forschungseinrichtung in Karlsruhe, entstanden aus Fusion von Universität und Großforschungszentrum, mit Lehre und Forschung in Natur-, Ingenieur- und Technikwissenschaften.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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