Phasenschiebendes Element und Teilchenstrahlgerät mit phasenschiebenden Element

EP1959475 Art B1 1. Februar 2012

Anmelder: Carl Zeiss NTS GmbH, Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1959475
Aktenzeichen
EP08002645
Anmeldetag
13. Februar 2008
Veröffentlichung
1. Februar 2012
Erteilung
1. Februar 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/26H01J37/04H01J37/09
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Carl Zeiss NTS GmbH
Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Max-Planck-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Die Max-Planck-Gesellschaft betreibt zahlreiche Institute für Grundlagenforschung in Natur-, Geistes- und Sozialwissenschaften.

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