Molekülbindungsverfahren mit Flusssäure-Reinigung in der Dampfphase und Abspülen mit entionisiertem Wasser

EP1959478 Art B1 17. August 2011

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'Energie Atomique 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1959478
Aktenzeichen
EP08354013
Anmeldetag
7. Februar 2008
Veröffentlichung
17. August 2011
Erteilung
17. August 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/02H01L21/18H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'Energie Atomique
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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