Dünnschicht-Volumenwellenresonator und Verfahren zu dessen heterogener Integration mit einer integrierter komplementären Metalloxid-Halbleiterschaltung

EP1959568 Art A1 20. August 2008

Anmelder: Consejo Superior De Investigaciones Científicas, Epson Europe Electronics GmbH, Consejo Superior de Investigaciones Cientificas 🇪🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1959568
Aktenzeichen
EP07380041
Anmeldetag
19. Februar 2007
Veröffentlichung
20. August 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H03H9/17H03H9/05
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Consejo Superior De Investigaciones Científicas
Epson Europe Electronics GmbH
Consejo Superior de Investigaciones Cientificas
Land
🇪🇸 Spanien
🇪🇸 Consejo Superior de Investigaciones Científicas

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