Verfahren zur Herstellung einer Reflektierenden Lithographischen Maske, sowie eine nach Diesem Verfahren Hergestellte Maske

EP1960836 Art B1 16. Oktober 2013

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1960836
Aktenzeichen
EP06830336
Anmeldetag
4. Dezember 2006
Veröffentlichung
16. Oktober 2013
Erteilung
16. Oktober 2013
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/24G03F1/56B82Y40/00B82Y10/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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