Systeme und Verfahren zur UV-Lithographie
EP1962138
Art B1
14. Dezember 2011
Anmelder: IMEC, Samsung Electronics Co., Ltd., Samsung Electronics Co., Ltd, Inter-Universitair Microelektronica Centrum 🇧🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1962138
- Aktenzeichen
- EP07447013
- Anmeldetag
- 23. Februar 2007
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2011
- Erteilung
- 14. Dezember 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- IMEC
Samsung Electronics Co., Ltd.
Samsung Electronics Co., Ltd
Inter-Universitair Microelektronica Centrum - Land
- 🇧🇪 Belgien
🇧🇪
imec
Imec ist ein belgisches Forschungszentrum mit Sitz in Leuven, das auf Nanoelektronik, Halbleitertechnologie und digitale Technologien spezialisiert ist.
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🇰🇷
Samsung Electronics
Südkoreanischer Elektronikkonzern und Teil der Samsung-Gruppe. Entwickelt und produziert Halbleiter, Speicherchips, Displays, Smartphones, Unterhaltungselektronik sowie Haushaltsgeräte für den globalen Markt.
72.110 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Bird, Ariane
Heverlee, Belgien
622
Patente gesamt
31
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Paemen, Liesbet R.J
NoneSint-Martens-Latem