Verfahren und Vorrichtung zur Durchfluss- und Konzentrationssteuerung ozonisierten Wassers
EP1962165
Art B1
30. November 2016
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1962165
- Aktenzeichen
- EP08009291
- Anmeldetag
- 25. April 2003
- Veröffentlichung
- 30. November 2016
- Erteilung
- 30. November 2016
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05D21/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Taylor, Adam David
London, Großbritannien
1.010
Patente gesamt
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Fachgebiete
21
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Piésold, Alexander James
NoneMünchen