Waschpulver für die Fotolithographie und Verfahren zum Waschen einer Belichtungseinrichtung damit

EP1962327 Art B1 18. Mai 2016

Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1962327
Aktenzeichen: EP06823501
Anmeldetag: 22. November 2006
Veröffentlichung: 18. Mai 2016
Erteilung: 18. Mai 2016
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20C11D1/66C11D1/72C11D3/43C11D3/18// H01L21/304H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Ohka Kogyo

Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

927 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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