Verfahren zum Verarbeiten eines Gefasten Teils eines Halbleiterwafers und Verfahren zur Korrektur der Rillenform eines Mahlelements
EP1962335
Art B1
16. September 2015
Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1962335
- Aktenzeichen
- EP06834569
- Anmeldetag
- 13. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 16. September 2015
- Erteilung
- 16. September 2015
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24B9/00B24B53/07
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Shin-Etsu Handotai
Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.
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Kanzlei
Wuesthoff & Wuesthoff
München, Deutschland
Wuesthoff & Wuesthoff wurde 1927 in Berlin von Dr. Franz und Dr. Freda Wuesthoff gegründet, die erste deutsche Patentanwältin, und zog 1949 nach München. Schwerpunkte liegen in Biotechnologie und Life Sciences, beraten wird auch auf Chinesisch, Koreanisch und Japanisch.
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