Verfahren zur Beurteilung eines Halbleitersubstrats

EP1962339 Art B1 4. August 2010

Anmelder: Japan Aerospace Exploration Agency 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1962339
Aktenzeichen: EP08003500
Anmeldetag: 26. Februar 2008
Veröffentlichung: 4. August 2010
Erteilung: 4. August 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Japan Aerospace Exploration Agency
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Japan Aerospace Exploration Agency

Die Japan Aerospace Exploration Agency (JAXA) ist die japanische Raumfahrtbehörde mit Zuständigkeit für Raketen-, Satelliten- und Raumfahrtforschung. Das Patentportfolio ist stark auf Luft- und Raumfahrttechnik fokussiert, ergänzt durch Mess- und Halbleitertechnik sowie Antriebstechnik. Anmeldungen laufen seit 2002 bis in die Gegenwart.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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