Verfahren zur Herstellung von Mikroporösen Cmp-Materialien mit Gesteuerter Porengrösse
EP1963048
Art A1
3. September 2008
Anmelder: CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1963048
- Aktenzeichen
- EP06817322
- Anmeldetag
- 24. Oktober 2006
- Veröffentlichung
- 3. September 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/304B24D3/32B24B37/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Cabot Microelectronics
Cabot Microelectronics war ein US-amerikanischer Hersteller von Polierchemikalien für die Halbleiterfertigung und ist heute Teil von Entegris. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben, Klebstoffe und Brennstoffe sowie Halbleiterbauelemente, mit Bezug zur Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Anmeldungen bis 2019 betreffen unter anderem CMP-Zusammensetzungen für die Chip-Planarisierung.
290 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Trueman, Lucy Petra
Birmingham, Großbritannien
598
Patente gesamt
34
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte