Auf Fluor Basierende Reinigung einer Ionenquelle
Anmelder: AXCELIS TECHNOLOGIES, INC., Divergilio, William, Tieger, Daniel, Joyce, Sean 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1964148
- Aktenzeichen
- EP06848020
- Anmeldetag
- 20. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 20. Januar 2010
- Erteilung
- 20. Januar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/08H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.
Divergilio, William
Tieger, Daniel
Joyce, Sean - Land
- 🇺🇸 USA
Axcelis Technologies, Inc. ist ein US-amerikanischer Hersteller von Ionenimplantationsanlagen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Beverly, Massachusetts. Das Patentportfolio ist fast vollständig auf Halbleiter und elektrische Bauelemente konzentriert, ergänzt um Oberflächentechnik und Mess- und Prüftechnik. Das Unternehmen meldet durchgehend seit 2000 an.
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Fachgebiete
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