Prozess zum Bonden durch Molekularadhäsion

EP1964166 Art B1 27. Januar 2016

Anmelder: Soitec, S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1964166
Aktenzeichen
EP06819601
Anmeldetag
20. November 2006
Veröffentlichung
27. Januar 2016
Erteilung
27. Januar 2016
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20C03C27/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Soitec
S.O.I.Tec Silicon on Insulator Technologies
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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