Verfahren und System zur Verwendung einer Zweiphasen-Substratreinigungsverbindung
EP1965930
Art A2
10. September 2008
Anmelder: Lam Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1965930
- Aktenzeichen
- EP06845929
- Anmeldetag
- 19. Dezember 2006
- Veröffentlichung
- 10. September 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C11D11/00C11D17/00C11D3/14B08B3/08H01L21/00G03F7/42H01L21/306H05K3/26C09G1/02H01L21/67
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Lam Research Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Kontrus, Gerhard
Villach, Österreich
229
Patente gesamt
16
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Derry, Paul Stefan
Venner Shipley LLP · London