Teilchenoptische Komponente

EP1966815 Art B1 14. April 2010

Anmelder: Carl Zeiss SMT AG, Applied Materials Israel, Ltd., Applied Materials Israel Ltd. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1966815
Aktenzeichen: EP06829160
Anmeldetag: 28. November 2006
Veröffentlichung: 14. April 2010
Erteilung: 14. April 2010
Rechtsraum: EP
IPC: H01J37/141H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Carl Zeiss SMT AG
Applied Materials Israel, Ltd.
Applied Materials Israel Ltd.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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