Absaugvorrichtung für eine Plasmabeschichtungskammer
EP1968098
Art A1
10. September 2008
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1968098
- Aktenzeichen
- EP07103797
- Anmeldetag
- 8. März 2007
- Veröffentlichung
- 10. September 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32C23C16/44
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Kanzlei
LangPatent Anwaltskanzlei IP Law Firm
München, Deutschland
LangPatent Anwaltskanzlei wird von Dr.-Ing. Christian Lang geleitet und sitzt im Münchner Norden. Die international ausgerichtete Kanzlei begleitet Patent-, Marken- und Designangelegenheiten von der Anmeldung bis zur gerichtlichen Durchsetzung, mit einem Team aus Wissenschaftlern, Ingenieuren und fremdsprachigen Fachkräften.
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