Verfahren zur Herstellung einer Oxidschicht auf einer Siliciumcarbidschicht mit Temperung in einer wasserstoffhaltigen Umgebung

EP1968119 Art B1 23. November 2011

Anmelder: Cree, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1968119
Aktenzeichen
EP08159857
Anmeldetag
12. April 2002
Veröffentlichung
23. November 2011
Erteilung
23. November 2011
Rechtsraum
EP
IPC
H01L29/78H01L29/24H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cree, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cree

US-amerikanischer Halbleiterhersteller, bekannt für LED- und Leistungshalbleitertechnik auf Siliziumkarbid-Basis. Das Unternehmen benannte sich 2021 in Wolfspeed um.

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