Herstellung von Piezoelektrischen Aufgehängten Mikrokomponenten nach dem Opfer-Dickschichtverfahren
EP1968885
Art B1
25. April 2012
Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1968885
- Aktenzeichen
- EP07712639
- Anmeldetag
- 5. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 25. April 2012
- Erteilung
- 25. April 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81C99/00H01L41/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Centre National de la Recherche Scientifique
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.
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Sueur, Yvette
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