Durch chemische Aufdampfung abgelagerte Siliciumkarbidartikel

EP1970358 Art A1 17. September 2008

Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC, ACG Electronic Materials 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1970358
Aktenzeichen
EP08152485
Anmeldetag
7. März 2008
Veröffentlichung
17. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
C23C16/32C30B35/00H01L21/673C04B37/00C04B35/565
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Rohm and Haas Electronic Materials LLC
ACG Electronic Materials
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Rohm and Haas

Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.

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