Optische Abtasteinrichtung, Mikroskop des Optischen Abtasttyps, Beobachtungsverfahren, Steuereinrichtung und Steuerprogramm

EP1970744 Art A1 17. September 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1970744
Aktenzeichen
EP06834081
Anmeldetag
6. Dezember 2006
Veröffentlichung
17. September 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G02B21/06G02B21/00G02B26/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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