Phenolpolymere und diese enthaltende Fotoresistzusammensetzungen
EP1970762
Art B1
16. Dezember 2009
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials, LLC, Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1970762
- Aktenzeichen
- EP08250839
- Anmeldetag
- 12. März 2008
- Veröffentlichung
- 16. Dezember 2009
- Erteilung
- 16. Dezember 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039C08K5/43H01L21/027H01L21/266H01L21/60C08F222/12C09D5/44
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Rohm and Haas Electronic Materials, LLC
Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
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Vertreten von
Kent, Venetia Katherine
Paris, Frankreich
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