Optischer Integrator, Optische Beleuchtungseinrichtung, Belichtungseinrichtung und Verfahren zur Bauelementeherstellung

EP1970943 Art A1 17. September 2008

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1970943
Aktenzeichen: EP06823415
Anmeldetag: 15. November 2006
Veröffentlichung: 17. September 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027G02B1/02G02B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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