Verfahren zur Herstellung eines Verbundswafers

EP1970949 Art B1 22. März 2017

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1970949
Aktenzeichen
EP07024471
Anmeldetag
18. Dezember 2007
Veröffentlichung
22. März 2017
Erteilung
22. März 2017
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762H01L21/02H01L21/20H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMCO Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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