Stubstrat mit Reflektierenden Schichten geeignet zur Herstellung von Reflexionsmaskenrohlingen für die Euv-Lithographie

EP1971898 Art B1 9. November 2011

Anmelder: Asahi Glass Company, Limited, Asahi Glass Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1971898
Aktenzeichen: EP07707133
Anmeldetag: 12. Januar 2007
Veröffentlichung: 9. November 2011
Erteilung: 9. November 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Asahi Glass Company, Limited
Asahi Glass Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 AGC (Asahi Glass)

Japanischer Glas- und Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, früher als Asahi Glass Company firmierend. AGC entwickelt Flachglas, elektronische Materialien, Spezialchemikalien sowie Glasprodukte für Automobil-, Bau- und Elektronikindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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