Vereinfachtes Verfahren zum Herstellen einer Epitaxial Gewachsenen Struktur

EP1972002 Art B1 8. April 2009

Anmelder: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1972002
Aktenzeichen
EP06830329
Anmeldetag
4. Dezember 2006
Veröffentlichung
8. April 2009
Erteilung
8. April 2009
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/20C30B25/18C30B33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)

Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.

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