Plasmaspezien und Einheitlichkeitssteuerung durch VHF-Impulsbetrieb
EP1973140
Art A3
21. Juli 2010
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1973140
- Aktenzeichen
- EP08153090
- Anmeldetag
- 20. März 2008
- Veröffentlichung
- 21. Juli 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peterreins, Frank
München, Deutschland
2.106
Patente gesamt
34
Fachgebiete
30
Anmelder-Länder
Schwerpunkte