Vorrichtung zum Bewegen eines Carriers in einer Vakuumkammer

EP1973154 Art B1 25. April 2012

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1973154
Aktenzeichen
EP07104010
Anmeldetag
13. März 2007
Veröffentlichung
25. April 2012
Erteilung
25. April 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/677C23C14/56B65G49/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik
Vertreten von
Schickedanz, Willi Offenbach, Deutschland
175
Patente gesamt
27
Fachgebiete
7
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Hochbau & Gebäudetechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Elektrische Energietechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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