Verfahren zur Herstellung eines GeOI-Wafers (germanium on insulator)
EP1973155
Art B1
6. Juli 2011
Anmelder: S.O.I. TEC Silicon, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1973155
- Aktenzeichen
- EP08007334
- Anmeldetag
- 19. November 2004
- Veröffentlichung
- 6. Juli 2011
- Erteilung
- 6. Juli 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- S.O.I. TEC Silicon
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat A L'energie Atomique Et Aux Energies
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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