Verfahren zur Chemischen Reduktion eines Oxidierten Verunreinigungsmaterials oder Reduzierende Oxidation eines Verunreinigungsmaterials und Aufbereitungssystem hierfür

EP1974242 Art A2 1. Oktober 2008

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1974242
Aktenzeichen
EP07709166
Anmeldetag
16. Januar 2007
Veröffentlichung
1. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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