Vorrichtung zur Probentischbewegung für ein Teilchenstrahlensystem
EP1975974
Art B1
11. Juli 2012
Anmelder: JEOL LTD., JEOL Ltd. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1975974
- Aktenzeichen
- EP08251272
- Anmeldetag
- 31. März 2008
- Veröffentlichung
- 11. Juli 2012
- Erteilung
- 11. Juli 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/20H01J37/26
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- JEOL LTD.
JEOL Ltd. - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
JEOL
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das wissenschaftliche und industrielle Präzisionsgeräte entwickelt, darunter Elektronenmikroskope, Analysegeräte und Halbleiterfertigungsanlagen.
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Fachgebiete
Vertreten von
Cross, Rupert Edward Blount
London, Großbritannien
2.091
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