Chemisch-Mechanisches Polierelement und Herstellungsverfahren dafür

EP1975985 Art A1 1. Oktober 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1975985
Aktenzeichen: EP07713711
Anmeldetag: 22. Januar 2007
Veröffentlichung: 1. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00B24D13/14B24D18/00H01L21/67B24B37/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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