Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung einer Antireflexionsschicht oder einer Passivierungsschicht für Solarzellen
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1976022
- Aktenzeichen
- EP07105278
- Anmeldetag
- 29. März 2007
- Veröffentlichung
- 3. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L31/0216H01L21/318C23C14/35C23C14/54
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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