Lichtquellenvorrichtung für extremes Ultraviolettlicht und Verfahren zur Erzeugung einer extremen Ultraviolettstrahlung
EP1976344
Art B1
20. April 2011
Anmelder: TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY, Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1976344
- Aktenzeichen
- EP08005656
- Anmeldetag
- 26. März 2008
- Veröffentlichung
- 20. April 2011
- Erteilung
- 20. April 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- TOKYO INSTITUTE OF TECHNOLOGY
Ushio Denki Kabushiki Kaisha - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Institute of Technology
Japanische technische Universität in Tokio mit Schwerpunkt auf Natur- und Ingenieurwissenschaften. Seit 2024 firmiert sie im Zuge einer Fusion als Institute of Science Tokyo.
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🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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