Prozess zur Herstellung eines Siliciumfilms auf einer Substratoberfläche durch Aufdampfung

EP1977454 Art A1 8. Oktober 2008

Anmelder: Evonik Degussa GmbH, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1977454
Aktenzeichen: EP06841290
Anmeldetag: 7. Dezember 2006
Veröffentlichung: 8. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L31/052H01L31/18C23C16/24C23C16/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Evonik Degussa GmbH
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Evonik

Deutscher Spezialchemiekonzern mit Sitz in Essen. Entwickelt und produziert Chemikalien, Additive und Materialien für Industrie, Gesundheit, Ernährung und Konsumgüter.

5.558 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von