Arbeitssystem, Kontakterfassungsverfahren und Ae-Kontakterfassungsvorrichtung

EP1977857 Art A1 8. Oktober 2008

Anmelder: TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1977857
Aktenzeichen
EP06823214
Anmeldetag
1. November 2006
Veröffentlichung
8. Oktober 2008
Rechtsraum
EP
IPC
B24B49/10B23Q17/22B24B47/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
TOKYO SEIMITSU CO., LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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