Verfahren zur Präzisionsbearbeitung von Substraten mittels eines in einen Flüssigkeitsstrahl Eingekoppelten Laser
EP1979125
Art B1
31. Oktober 2012
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., Albert-Ludwigs-Universität Freiburg 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1979125
- Aktenzeichen
- EP07703029
- Anmeldetag
- 25. Januar 2007
- Veröffentlichung
- 31. Oktober 2012
- Erteilung
- 31. Oktober 2012
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B23K26/14B23K26/40H01L21/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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🇩🇪
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Deutsche Universität in Freiburg im Breisgau mit Forschung und Lehre in zahlreichen Fachbereichen, darunter Naturwissenschaften, Medizin und Mikrosystemtechnik.
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