Vorrichtung zur Entgasung eines Scheibenförmigen Substrates

EP1979930 Art B1 19. August 2015

Anmelder: Oerlikon Advanced Technologies AG, OC Oerlikon Balzers AG 🇱🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1979930
Aktenzeichen
EP06817733
Anmeldetag
4. Dezember 2006
Veröffentlichung
19. August 2015
Erteilung
19. August 2015
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/67H01L21/00C23C14/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Oerlikon Advanced Technologies AG
OC Oerlikon Balzers AG
Land
🇱🇮 Liechtenstein

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Wegmann, Urs Oberschan, Schweiz
45
Patente gesamt
12
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Fahrzeugtechnik (Automobil, Bahn & Schiff) Metallurgie & Oberflächentechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik
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