Catadioptisches Abbildungssystem, Belichtungseinrichtung und Bauelementeherstellungsverfahren

EP1980890 Art B1 28. September 2011

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1980890
Aktenzeichen: EP06835158
Anmeldetag: 25. Dezember 2006
Veröffentlichung: 28. September 2011
Erteilung: 28. September 2011
Rechtsraum: EP
IPC: G02B17/08G03F7/20H01L21/027// G02B13/22

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

3.320 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

Vertreten von