Polierkissen für Chemisch-Mechanisches Polieren

EP1981070 Art A1 15. Oktober 2008

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1981070
Aktenzeichen: EP07713813
Anmeldetag: 30. Januar 2007
Veröffentlichung: 15. Oktober 2008
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/304B24B37/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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